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福州大學-晉江微電子研究院公開征集潔凈實驗室建設方案
發表日期:2020年9月22日 閱讀:294

福州大學-晉江微電子研究院是晉江市政府與福州大學聯合創辦的研究機構,建設地址位于福州大學晉江科教園。研究院主要面向國家產業布局和創新發展需求,政、校、企聯合,共建世界一流水平的微電子研究院。研究院將立足于原創性與基礎性技術研究,吸引國內外半導體領域高端人才,面向產業與應用,開展新材料、新器件、新工藝和新產品研發,力爭五年內把研究院建設成為服務于福建省微電子產業鏈企業的國家級微電子先導技術研發中心與公共研發平臺。

潔凈實驗室建設是研究院建設的重要之重,為保障實驗室高質量、高標準、安全快速地建成,現向全社會公開征集潔凈實驗室建設方案。

、實驗室整體介紹

潔凈實驗室由四個實驗室組成,總面積約1100平方米。為滿足不同實驗室不同的功能需求,潔凈等級分為百級(ISO5級)、千級(ISO6級)和萬級(ISO7級)。主要需求如下表:

 

編號

潔凈室級別

面積(m2)

備注

實驗室1

(一層)

百級

ISO5

150

去離子水

除空調、照明插座用電外,儀器設備用電300kW;

壓縮空氣,N2;

2個有機通風櫥

千級

ISO6

250

去離子水

壓縮空氣,N2,O2,Ar,NH3

2個無機通風櫥,需要緊急淋浴裝置,房間入口有更衣間,風淋室等

實驗室2

(一層)

萬級

ISO7

250

去離子水

除空調、照明插座用電外,儀器設備用電200kW;

壓縮空氣,N2,O2,Ar,H2,CH4,KrF預混氣體,氦氣

1個有機通風櫥,房間入口有更衣間,風淋室等

實驗室3

(三層)

萬級

ISO7

200

去離子水

除空調、照明插座用電外,儀器設備用電150kW;

壓縮空氣,N2,O2,Ar

1個有機通風櫥,1個無機通風櫥,房間入口有更衣間,風淋室等

實驗室4

(四層)

萬級

ISO7

250

去離子水

除空調、照明插座用電外,儀器設備用電150kW;

壓縮空氣,N2

1個有機通風櫥,房間入口有更衣間,風淋室等

 

 

實驗室建設的總體原則為經濟、實用。凈化要求級別為百級ISO5級)、千級ISO6級)、萬級ISO7級)。實驗室設計有一更、二更、風淋和緩沖等區域。采用人流、物流分開原則,以減少實驗污染,保證安全。潔凈實驗室必須保證人身安全、環境安全、廢棄物安全和儀器安全,能長期穩定安全地運行,同時還需要為實驗室工作人員提供一個舒適而良好的工作環境。

、建設方案具體要求

() 超凈間功能布局

1. 根據實際場地和功能需求對一更、二更、風淋室、實驗區域、參觀長廊、進貨門、緊急逃生門等進行科學布局;

2. 各實驗室均應設計緊急逃生門;

3. 各實驗室應考慮設備搬入路徑,預留足夠尺寸的常閉搬入門,尺寸不小于2200 mm寬,2400 mm高度,按可拆門設計;一層設備進入路徑需有緩坡,且承重不小于2噸。高層應考慮設備吊裝入口。室內有隔墻的均需考慮設備進出通道。

4. 一層實驗室潔凈室內凈高度2800 mm,三層和四層潔凈室內盡可能保證凈高2600 mm;

5. 空調機組、制氮機、氣瓶柜等放置在室外,對放置位置綠化帶進行改造,室外屋頂采用鋁合金,寬度約3米,柵欄采用密封圍欄,保證美觀安全,且應符合實驗室安全相關規定。

6. 室外裝置應考慮到臺風等極端天氣;

7. 一層百級實驗室裝修后要求:振動 < 0.8 μm/sec (1.6 Hz16 Hz),< 1.0 μm/sec (>16 Hz);磁場 < 1 mG (< 625 Hz);噪聲 < 70 dBC (31.5 Hz 100 Hz),< 60 dBC (>100 Hz);其余實驗室裝修后要求振動 < 1 μm/sec,噪聲 < 60 dB;

8. 室外空調機組等設備噪聲<60 dB,振動< 1 μm/sec;

 

() 凈化系統

9. 溫度、濕度、靜壓差、潔凈度、新風量、換氣次數等必須滿足相應潔凈室等級對應的要求;

10. 實驗室的通風櫥都放在樓棟的外墻側,通風櫥排氣需集中后于外墻排至樓頂,并安裝尾氣處理裝置;尾氣主要包括有機通風櫥使用有機化學試劑(如丙酮、異丙醇、無水乙醇、光刻膠等)時的揮發性氣體,無機通風櫥使用無機化學試劑(如鹽酸等)時的揮發性氣體。

11. 實驗室位于海邊,需考慮空氣對設備的腐蝕,如新風機組采用全防腐機組,循環凈化機組采用防腐涂層機組等;

12. 凈化空調系統應采用低噪聲產品,同時采取隔聲、消聲、隔振等措施;

13. 空調機組要容易維護;

 

() 電氣系統建設

14. 空調用電、設備用電、照明插座用電分開配置,考慮三相平衡;

15. 設備用電的配電箱全部采用三相五線制到指定位置;

16. 室外單獨做一個專用接地系統用于設備接地,最終接地電阻需滿足小于0.5歐姆,并在相關儀器處預留接地點;

17. 消防、網絡、電話點位、監控等;

18. 室內照度需滿足全屋工作面(地面以上750 mm)不低于300lx的要求,有化學品的室內需采用防爆燈具。

 

() 特氣系統

19. 每種氣體均有特種氣體柜,特定氣體需安裝報警裝置; 

20. 氣瓶柜均放置在室外;?;贩胖锰幰残栌斜O控及泄露報警。

21. 采用制氮機及儲氣罐等設備供應普通氮氣,采用制氮機制作普通氮氣作為壓縮空氣使用;

22. 根據儀器設備需要,在相應位置預留接氣口,并安裝尾氣處理裝置;;

 

() 給排水

23. 安裝去離子水發生器,每個通風櫥都接通去離子水,去離子水電阻率=18.2 MW×cm,額定產水量 > 400 L/H;

24. 根據儀器設備需要,在相應位置預留給排水管道;

 

三、時間安排

() 統一安排于2020925日在福州大學-晉江科教園教學實驗樓B樓進行現場踏勘,現場提供房間的圖紙及咨詢,以便設計者充分了解現場水電氣網絡等情況;

() 設計方案需遵照國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范GB50472-2008》之規定;

() 設計方案應至少包括:設計圖紙(水電氣送回風排氣管路等)、技術指標和性能、配套設備及材料、預算等;

() 在設計過程中所產生的一切費用由設計方承擔。歡迎有志支持學校實驗室建設的各界友商提供建設方案和建議。建設方案請在規定時間內發送到聯系人郵箱;

() 聯系人:李老師;E-mailtyl@fzu.edu.cn;

() 方案截止日期:202010102400。

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